MEMS 酒精气体传感器利用MEMS工艺在Si基衬底 上制作微热板，所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率 较低的金属氧化物半导体材料。当传感器所处存在气体环 境中时，传感器的电导率随空气中被检测气体的浓度而发 生改变。该气体的浓度越高，传感器的电导率就越高。使 用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度 相对应的输出信号。

产品特点

1.采用MEMS工艺，结构坚固，抗震性好

2.有尺寸小、功耗低、灵敏度高、响应恢复快

3.驱动电路简单、稳定性好、寿命长

产品参数

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